ASTM F 84-1998 用在线四探针法测量硅片电阻率的试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-20 13:15:30  浏览:9894   来源:标准资料网

【英文标准名称】:TestMethodforMeasuringResistivityofSiliconWaferswithanIn-LineFour-PointProbe
【原文标准名称】:用在线四探针法测量硅片电阻率的试验方法
【标准号】:ASTMF84-1998
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子工程;垫圈;耐力;测量;硅
【英文主题词】:resistance;silicon;washers;measurement;electronicengineering
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:
【正文语种】:英语